工业硅及硅铁在高温熔炼的过程中，随着废气逸出的粉尘为硅灰或硅粉，其主要成分是活性SiO2（含量约占90%，其中所含游离态SiO2约占10%）。颗粒非常小，是水泥粒径的百分之一，容量小、比表面积大，固有微硅粉之称，它能直接通过呼吸进入人体肺泡，对人身体